DST1-170／
高真空スパッタコーター仕様

DST1-170 高真空スパッタコーター仕様

本体サイズ ( H x W x D )	450 × 500 × 370 (mm)　※ターボポンプ除く
重量	36 Kg
電源	220 -240 V、50 / 60 HZ、16 A
高精度膜厚モニター	○
蒸着源数	1
到達真空度	高真空ターボポンプ使用ポンプ速度：90L / s 到達真空度：7 × 10 ^-7 Torr 未満
PC転送	USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能

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