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半導体 関連製品一覧

コーティング装置

ネオオスミウムコータ (Neoc-Pro)

Neoc-Pro ネオオスミウムコータ

粒状性のない導電性薄膜を作製し、熱・電子線ダメージなく観察

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親水化処理機能付カーボンコータ (CADE-E)

親水化処理機能付カーボンコータ (CADE-E)

プラズマ処理とカーボン蒸着の連続工程で、コンタミのない分析

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イオンビームスパッタコーター (IBS/e)

イオンビームスパッタコーター (IBS/e)

スパッタとエッチング機能を搭載

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小型スパッタコーター (SC200)

小型スパッタコーター (SC200)

コンパクトなスパッタコータ

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ターボスパッタコーター (Q150T)

小型スパッタコーター (SC200)

高真空排気 70L/sの空冷ターボポンプを搭載

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プラズマソフトエッチング・クリーニング・親水化処理

ソフトプラズマエッチング装置 (SEDE)

ソフトプラズマエッチング装置 (SEDE)

親水化・クリーニングをダメージなく処理、PDMSも簡単に接着

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UVオゾンクリーナー plus (PC-450)

親UVオゾンクリーナー plus (PC-450)

省スペース(B5サイズ以下)・リーク不要・簡単操作!

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プラズマクリーニング装置 (PC-2000)

プラズマクリーニング装置 (PC-2000)

サンプルをホルダーごとクリーニングでき、広範囲にコンタミ除去

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プラズマエッチング装置
(PE-2000)

プラズマエッチング装置(PE-2000)

大気・酸素・アルゴン・CF4等、各種活性ガスを使用

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超薄膜測定 エリプソメーター

マルチスペクトル・
エリプソメーター(FS-1)

マルチスペクトル・エリプソメーター (FS-1)

特許取得の新MWE技術で分光エリプソメトリー解析を実現

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自動膜厚マッピングモデル
(FS-XY150/FS-RT300)

親UVオゾンクリーナー plus (PC-450)

自動測定&解析で迅速な膜厚マッピングが可能

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In Situ エリプソメーター
(FS-1O-ISI)

プラズマクリーニング装置 (PC-2000)

コーターやエッチング装置に搭載・In Situでリアルタイム計測

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極小エリア測定モデル
(FS-1-FBI)

プラズマエッチング装置(PE-2000)

小さなスポットサイズ(0.3×0.7mm)での測定や品質管理に最適

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QCM-D 分子間相互作用解析システム

8チャンネルフルオートモデル (Q-Sense Pro)

8チャンネルフルオートモデル (Q-Sense Pro)

8チャンネル完全自動測定+複合用チャンバー接続可能。

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Q-Sense Analyzer
(4チャンネルモデル)

Q-Sense Analyzer 
(4チャンネルモデル)

最大4個のセンサーで同時測定。
多検体同時計測に最適。

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Q-Sense Explorer
(1チャンネルモデル)

Q-Sense Explorer 
(1チャンネルモデル)

QCM-Dのベーシックシステム。
測定用モジュールを1個搭載できる、標準チャンバー。

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Q-Sense Initiator (1チャンネル・エントリーモデル)

Q-Sense Initiator (1チャンネル・エントリーモデル)

1チャンネルチャンバーのエントリーモデル。

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局在表面プラズモン共鳴解析システム

液相測定用チャンバー
(XNanoⅡ)

液相測定用チャンバー
(XNanoⅡ)

液相で極低分子の吸脱着、分子の構造変化の定量フロー測定ができます。

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気相測定用チャンバー
(X1)

気相測定用チャンバー
(X1)

高温中でのガス吸着測定、触媒反応のリアルタイム詳細解析に。 

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プラズモニックセンサー

プラズモニックセンサー

局在表面プラズモン共鳴(LSPR)を応用した超高感度センサー。

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