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エッチング・クリーニング・親水化処理装置一覧

ソフトプラズマエッチング装置 (SEDE)

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親水化・クリーニングをダメージなく処理、PDMSも簡単に接着

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UVオゾンクリーナー plus (PC-450)

親UVオゾンクリーナー plus (PC-450)

省スペース(B5サイズ以下)・リーク不要・簡単操作!

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プラズマクリーニング装置 (PC-2000)

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サンプルをホルダーごとクリーニングでき、広範囲にコンタミ除去

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プラズマエッチング装置
(PE-2000)

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大気・酸素・アルゴン・CF4等、各種活性ガスを使用

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