SEDE／
ソフトプラズマエッチング装置お客様の声

装置導入の経緯を教えてください。
PDMS同士やPDMSとガラスの接合、基板の洗浄と親水化処理のために、ソフトプラズマエッチング装置（SEDE-P）を導入しました。

装置に対する評価を教えてください。
PDMS同士やPDMSとガラスの接合では、本装置は電極面積が大きいので一度に多くの試料を処理することができ、効率よく実験を行うことが出来ています。
また微細加工した基板を親水化処理することにより、気泡が入ることなく溶液を導入することが出来ています。

今後の研究ビジョンを教えてください。
生体分子モーターやソフトマテリアルを利用して、マイクロスケールのロボットやセンサーを開発していきます。