TIRI クロスミーティング 2019にて
オスミウムコータ（Neoc）の性能評価について講演を行いました

2019年 7 月 25日
メイワフォーシス株式会社

　2019 年 7 月 4 日（木）～ 5 日（金）に都立産業技術研究センターにて開催された「TIRI クロスミーティング 2019」にて講演を行いました。 弊社は 2018 年8 月、新規製品の開発および既存製品改良のための技術開発、品質保証データの取得のため、都立産業技術研究センターの製品開発支援ラボに入居しテクノロジーラボを開設いたしました。

　このたびの講演では、SEM観察における前処理工程として重要な、導電被膜形成における被膜材料や処理条件がもたらす観察結果の違いについて、高倍率の観察結果をもとに説明をしました。

講演題目：走査型電子顕微鏡によるオスミウム導電薄膜の性能評価

　SEＭ観察におけるオスミウム導電薄膜（CVD）とスパッタリング金属膜（PVD）との成膜差、オスミウム導電被膜形成における負グロー相領域内と陽光柱領域内でのSEMによる膜質比較から、 SEM観察を行う際には、負グロー相領域内で純粋オスミウムをコーティングできる、弊社のネオオスミウムコータ（Neoc ）が有効です。

　ネオオスミウムコータ（Neoc）シリーズは、2003年の発売開始より、通算300台の納入実績があります。これまでのスパッターコートを超える蒸着が可能となったNeocは、SEM観察はもちろん元素分析など他の解析にも応用ができるため、発売開始からこれまで多方面のユーザー様にご活用いただいております。 また、装置の販売後も責任をもってご対応いたします。納入・設置・アフターメンテナンスまで、お客様をトータルサポートいたします。