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PLD-T/熱蒸着機付き
卓上パルスレーザーデポジションシステム仕様

PLD-T 熱蒸着機付き卓上パルスレーザーデポジションシステム

PLD-T 熱蒸着機付き卓上パルスレーザーデポジションシステム 仕様

本体サイズ ( H x W x D ) 500 × 600 × 470 (mm) 
重量 70 Kg
電源 220 - 240 V、50 / 60 HZ、16 A
高精度膜厚モニター
蒸着源数 最大 3
到達真空度 高真空ターボポンプ使用
ポンプ速度:90L / s、350 L/ s、
到達真空度:7 × 10 -6 Torr 7 × 10 -7 Torr
PC転送 堆積プロセスデータをUSBポートでPCに転送
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