DSR1／
高性能スパッタコーター仕様

DSR1 高性能スパッタコーター仕様

本体サイズ ( H x W x D )	450 × 500 × 370　(mm)
重量	42 Kg（真空ポンプ付属）
電源	220 - 240 V、50 / 60 HZ、10 A、80 W DCスイッチング電源
高精度膜厚モニター	○
蒸着源数	1
到達真空度	40 mTorr 未満
PC転送	USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能

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