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| 本体 | |
|---|---|
| X, Y Stage 可動域 | 50 mm × 50 mm |
| X, Y Stage 分解能 | 20 nm |
| Z Stage 可動域 | 50 mm |
| Z Stage 分解能 | 100 nm |
| Optical Microscope | 150X to 1000X |
| 本体 サイズ | 51 cm × 37 cm × 33 cm |
| 本体 重量 | 20.9 kg |
| コントローラー サイズ | 54 cm × 54 cm × 64 cm |
| コントローラー 重量 | 38.6 kg |
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