ステージの角度を調節することで、ポリッシングとエッチングを使い分けることが可能です。
コーティング中に、ステージの角度と回転の調節を行えます。Φ50mm以上の広範囲に10Å以上のハイレゾリューションな膜生成を行えます。
ターゲット | 顕微鏡タイプ | 倍率 | 使用用途 |
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Au,Au/Pd | STANDARD SEM | <2,000X | 低倍の観察に |
Ir,Pt | FESEM,FETEM | <200,000X | 両方は粒状組織において類似しています。イリジウムの方が電子線よりサンプルを保護する機能が優れています。 |
Ta,Ti,W,Cr | FESEM,FETEM | <200,000X | 50万倍でも粒状性が見えません。 |
C | FESEM,FETEM | <500,000X | EDXなど分析時のコーティングに。 |
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