東京03-5379-0051 大阪06-6212-2500
名古屋052-686-4794 仙台022-218-0560
型式 | CADE-4T | CADE-E | CADE |
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チャンバー寸法 | Φ140×165 ㎜ | ||
試料台寸法 | Φ90mm | Φ80 ㎜ | |
蒸着源 | 特殊処理高純度炭素ファイバー | ||
蒸着源電圧 | DC 20 V | ||
コート時間 | 1.7秒 | ||
プラズマ放電 | なし | 実装 | なし |
放電時間 | - | 15秒 | - |
ポンプ容量 | 136ℓ/min | ||
重 量 | 18 kg | ||
最大消費電力 | 1000 W | ||
消費電力量 | AC 100 V 最大15A(真空ポンプの起動含む) | ||
本体外径寸法 | 360 (W)×350 (D)×410 (H)㎜ |
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