光干渉式デスクトップ膜厚計  シリーズ

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ST4080

 

OSP有機酸化保護膜
測定特化モデル

Top Features
非破壊によるOSP膜厚測定
サンプル前処理が不要
Cu基板上のOSPコーティング 粗表面測定
オートフォーカス機能
3D等厚線解析

世界唯一 LCD 4マスク・プロセス
微細測定パターン測定可能

測定膜厚範囲35nm~3μm
測定エリア864 x 648mm

ST4080-OSPは、装置開発メーカーである韓国K-MAC社が世界的にも信頼されている同社の半導体、FPD、電子部品業界向けに開発された膜厚計のノウハウを凝縮し、PCB基板上のOSPOrganic Solderability Preservative)膜厚に特化した測定を実現するため、設計されたモデルです。本装置は非破壊・非接触の特徴を活用する事で、サンプルの前処理を施さなくても、基板上の平均的な膜厚や、詳細な3D表面プロファイル情報のリアルタイム測定を可能にし、微小スポットサイズ、オートフォーカス機能等、様々な機能を盛り込んだPCB基板上の本来のパターン測定に最適なモデルです。

Specification
多層膜測定 1層
測定波長範囲 420~640nm
測定膜厚範囲 35nm~3μm
Z軸再現性 ±1μm
フォーカス オート
倍率 x50/ x5
測定スポットサイズ 1.35μm/0.135μm
ステージサイズ 270 x 240mm
ステージ駆動 Z軸ヘッド部駆動(50mm)
除震台 なし
対応OS Windows 95~XP
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