ST4080
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Top Features |
ST4080-OSPは、装置開発メーカーである韓国K-MAC社が世界的にも信頼されている同社の半導体、FPD、電子部品業界向けに開発された膜厚計のノウハウを凝縮し、PCB基板上のOSP(Organic Solderability Preservative)膜厚に特化した測定を実現するため、設計されたモデルです。本装置は非破壊・非接触の特徴を活用する事で、サンプルの前処理を施さなくても、基板上の平均的な膜厚や、詳細な3D表面プロファイル情報のリアルタイム測定を可能にし、微小スポットサイズ、オートフォーカス機能等、様々な機能を盛り込んだPCB基板上の本来のパターン測定に最適なモデルです。
| 多層膜測定 | 1層 |
| 測定波長範囲 | 420~640nm |
| 測定膜厚範囲 | 35nm~3μm |
| Z軸再現性 | ±1μm |
| フォーカス | オート |
| 倍率 | x50/ x5 |
| 測定スポットサイズ | 1.35μm/0.135μm |
| ステージサイズ | 270 x 240mm |
| ステージ駆動 | Z軸ヘッド部駆動(50mm) |
| 除震台 | なし |
| 対応OS | Windows 95~XP |




