１μエリアの膜厚、屈折率、吸収係数を測定可能

　●従来のエリプソメーターの面分解能は、50-1000μmのレーザースポット径でしたが、EP3は面分解能
　 　1μmを達成しました。
　●CCDカメラとアナライザーの連動により測定個所を画像で確認して、対物20倍レンズで200μm視野内
　 　の1μmスポットまで指定して測定可能です。
　●EP3は膜厚分布を3D-Map化できます。

リアルタイムで全視野のフォーカシング

●有機薄膜専用の顕微鏡です。
●コンペンセイター（補償板）の取り付けにより、イメージングエリプソ
　 メーターにアップグレードが可能です。
●LB膜などの観察に最適です。
●「スキャニング対物レンズ」により全視野を焦点の合った像で得る
　 ことができます。
●高出力可視レーザーと高性能対物レンズで面分解能1μmを誇り
　 ます。

ウルトラコンパクトデザイン

●気一液界面専用の有機薄膜観察装置です。
●形態視覚化（同質性、安定性やドメインストラクチャー等）に理想的
　 な装置です。
●リアルタイムで全視野のフォーカシングが可能です。
●LB膜形成中のモノレイヤー制御や、素材の特性評価及びコンタミ
　 がモニターできます。