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近年飛躍的に発達したエリプソメトリーの中でも「高精度な測定」を「簡便な操作」かつ「低コスト」を実現させた、FS-1 マルチスペクトルエリプソメーターと半導体膜の評価方法をご紹介いたします。
FS-1を使用してin situ計測をされている 国⽴研究開発法⼈ 物質・材料研究機構 主任研究員 井村 将隆 先生 よりご講演いただきます。
※今回のウェビナーは、開催当日のみの LIVE 配信です。アーカイブ配信は行っておりません。
資料請求などもこちらからどうぞ。お気軽にお問い合わせください。
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